Aktuell und didaktisch ausgereift, bietet der Band Anwendern und fortgeschrittenen Studierenden einen ausgezeichneten Zugang zu den Themenbereichen MEMS und Mikrosysteme. Ber???cksichtigt werden sowohl Aspekte der Elektrik und Elektronik als auch die mechanische Seite der MEMS.
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Aktuell und didaktisch ausgereift, bietet der Band Anwendern und fortgeschrittenen Studierenden einen ausgezeichneten Zugang zu den Themenbereichen MEMS und Mikrosysteme. Ber???cksichtigt werden sowohl Aspekte der Elektrik und Elektronik als auch die mechanische Seite der MEMS.
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